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热式气体流量传感器简介
热式气体流量传感器是基于流体传热学原理的一类传感器，利用 MEMS 热式原理对管路气体介质进行流量监测。
流量芯片由两个热偶堆和一个加热电阻组成，热偶堆对称分布在加热电阻的上、下游，加热电阻和热偶堆的热结处于一个隔热底座上。
加热电阻对热偶堆的热结进行加热，热偶堆热结和冷结之间的温度梯度导致输出电压。当流体静止时
加热电阻两侧对称位置的温度是相同的；当流体从右向左流动时等温线向左侧倾斜，加热电阻两侧对称位置的温度不再相同，温差可由置于加热电阻两侧的热偶堆测定 。
由于流体的传热只与流体质量和流体的热容有关，因此传感器可以直接测出流体质量流量。
热式气体流量传感器特点及应用
热式气体流量传感器利用比较简单的构造来准确地测量气体的质量流量，具有结构简单、压损小、量程范围宽等优点，在工业过程控制、医疗设备、便携式仪器、环境监测设备等领域有着广泛的应用。
热式气体流量传感器选型
型号 | FR03 | FR03H |
产品图 |  |  |
常规量程（SLM） | 0.1/0.2/0.3/0.5 | 1/2/3/4/5 |
通径 | DN3 | |
输出方式 | 线性1-5V/0.5-4.5V | 线性1-5V/0.5-4.5V或数字IIC |
工作电压 | DC5V-14V | |
精度 | ±（2±0.5FS）% | |
工作压力 | 可定制 | ≤200Kpa |
工作温度 | 0℃~50℃ | |
储存温度 | -20℃~80℃ | |
测量介质 | 干燥洁净的非腐蚀性气体 | |
电气接口 | 2.54mm-5P插针或PH2.0-5P端子（可选） | |
机械接口 | / | ISO3mm |
型号 | FR06 | FR15 |
产品图 |  |  |
常规量程（SLM） | 10/15/20 | 0-300 |
通径 | DN6 | DN15 |
输出方式 | 线性1-5V/0.5-4.5v或数字IIC | 线性模拟电压和数字IIC |
工作电压 | DC5V-14V | |
精度 | ±（2±0.5FS）% | 0-9SLM ±0.5SLM 9-300SLM ±2.5%FS |
工作压力 | 可定制 | / |
工作温度 | 0℃~50℃ | 5℃~60℃ |
储存温度 | -20℃~80℃ | |
测量介质 | 干燥洁净的非腐蚀性气体 | |
电气接口 | 2.54mm-5P插针或PH2.0-5P端子（可选） | Molex 87832-1010 |
机械接口 | φ6-G1/8气动插头 | / |
型号 | FR20 | F1012 |
产品图 |  |  |
常规量程（SLM） | 150/200/300 | 0.03/0.05/ 0.1/0.2/0.3/0.5/1 |
通径 | DN20 | DN3 |
输出方式 | 线性1-5V/0.5-4.5V或数字IIC | 线性1-5V/0.5-4.5V |
工作电压 | DC5V-14V | DC7V-14V |
精度 | ±（2±0.5FS）% | ±2.5%FS |
工作压力 | ≤200KPa | |
工作温度 | 0℃~50℃ | |
储存温度 | -20℃~80℃ | |
测量介质 | 干燥洁净的非腐蚀性气体 | |
电气接口 | PH2.0-5P端子 | 2.54mm-5P插针 |
机械接口 | ISO20mm | ISO3mm |
型号 | F1031 | F1031V |
产品图 |  |  |
常规量程（SLM） | 50/100/150/200/300 | 100/150/200/300 |
通径 | DN20 | |
输出方式 | 线性1-5V/0.5-4.5V | 线性0.5-4.5V |
工作电压 | DC7V-14V | DC5V-14V |
精度 | ±2.5%FS | ±4%FS |
工作压力 | ≤200KPa | |
工作温度 | 0℃~50℃ | |
储存温度 | -20℃~80℃ | |
测量介质 | 干燥洁净的非腐蚀性气体 | |
电气接口 | PH2.0-5P端子 | |
机械接口 | ISO20mm | |
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